




氦质谱检漏仪的检漏方式有那些
氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。结束后,将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入氦质谱检漏仪系统进行测试,得到氦质谱检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
氦质谱检漏仪逆扩散原理
逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高,氦质谱检漏仪可达1000Pa(一般常规检漏仪为0.05Pa以下),适合检大型容器或有大漏的器件,也适合吸枪检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染,灯丝寿命长等优点。
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氦质谱检漏仪的校准方法
氦质谱检漏仪广泛应用于制冷行业、核工业、电子行业、真空行业、电力行业、航空航天等行业。根据其工作原理和技术性能指标,通过实验,总结通过氦质谱检漏仪对其漏率校准的方法。
氦质谱检漏仪原理:
氦质谱检漏仪是一种以氦气作为示漏气体专门用于检漏的质谱分析仪器。其基本工作原理是采集被检件中的气体样品并将其电离,根据不
氦质谱检漏仪主要由质谱室、真空系统和电气部分等组成。
氦质谱检漏仪的内部一般有标准漏孔,可将标准漏孔拆卸进行校准,如果不能单独校准标准漏孔,就可考虑直接通过氦质谱检漏仪进行漏率部分的校准,本文主要讨论这种情况下氦漏率的校准方法。
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真空箱氦检漏的特征和优点
1、高压氮气强度检测真空箱内进行,保护操作者安全
2、真空箱内氦气本底抑零,保证了检漏的准确性、。
3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序,可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。
4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件,并通过灯光和液晶操作屏显示出来。
5、专利技术的密封接头,减少误判。
6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能,确保了系统的操作安全及可靠运行。
7、PLC控制,使系统运行清晰明了,实现了实时监测及控制。
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氦气检漏的主要参数及优势
1、关键零部件全球集优采购,保证了系统的稳定性和可靠性;
2、真空箱内氦气本底抑零,保证了检漏的准确性、;
3、特有的清氦系统,快速有效地清除超标的氦本底,保证检测的稳定性和准确性;
4、实时监测氦气压力和浓度,保证了工件检测的精度;
5、可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯,极大降低氦气损耗(功能可选);
6、可同时检测多工件,并能按照需求自动判断出具体的有漏工件;
7、专业定制的的密封接头,稳定可靠,减少误判。
8、触摸屏实时显示监测数据和运行参数,监控一目了然。
9、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能,确保了系统的操作安全及可靠运行。
今天和大家分享的是氦气检漏的主要参数及优势,希望对您有所帮助!